纳米压痕技术的作用

纳米压痕技术又称深度敏感压痕技术，是测试材料力学性质最简单的方法之一，广泛应用于材料科学的各个领域。

纳米压痕仪概述

纳米压痕仪，又称纳米压入仪，主要用于测试微纳米薄膜材料的硬度和杨氏模量，通过计算对力和压入深度的曲线得到测试结果，无需通过显微镜观察压痕面积。适用于各种检测分析，如有机或无机材料、软或硬材料，包括PVD、CVD、PECVD薄膜、彩绘釉料、微电子涂料、感光或光学薄膜、装饰薄膜等。

纳米压痕仪的特点

完全符合ISO14577.ASTME2546；自动观察光学显微镜；硬度、刚度、弹性模量、断裂刚度、失效点、应力-应变、蠕变性能等力学数据；拥有其独特的热漂移控制技术；采用独立的载荷加载系统和高分辨率的电容深度传感器，及时测量载荷大小。

纳米压痕仪应用范围

半导体技术(钝化层、镀金属、BondPads)；储存材料(磁盘保护层、磁盘基础上的磁性涂层、CD保护层)；光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层)；金属蒸涂层；防磨涂层(Tin、TiC、DLC、切割工具)；药理学(如药片、植入材料、生物组织)；工程(如油漆、橡胶、触摸屏、MEMS)等行业。

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