白光干涉仪和共聚焦的区别是什么

白光干涉仪和共聚焦显微镜都是微纳米级表面光学分析仪器，具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点，并都能表征微观形貌的轮廓尺寸。然而，它们在测量原理、应用及特点上存在显著的差异，以下是对两者的详细比较：

一、测量原理
1.白光干涉仪
①利用白光干涉技术，结合精密Z向扫描模块和3D建模算法，对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。
②通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，实现器件表面形貌的3D测量。

2.共聚焦显微镜
①利用共聚焦技术，通过放置在光源后的照明针孔和放置在检测器前的探测针孔，实现点照明和点探测。
②来自光源的光通过照明针孔发射出的光聚焦在样品焦平面的某个点上，该点所发射的荧光成像在探测针孔上，该点以外的任何发射光均被探测针孔阻挡。
③计算机以像点的方式将被探测点显示在屏幕上，通过扫描系统在样品焦平面上扫描，产生完整的共焦图像。

二、应用及特点
1.白光干涉仪
①应用：多用于测量大范围光滑的样品，尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的精准。
②特点：测量精度高，能够提供高精度的表面形貌测量数据；测量范围大，适用于大尺寸样品的测量；具有自动拼接测量、定位自动多区域测量等功能，可实现大区域、高精度的测量。

2.共聚焦显微镜
①应用：更容易测陡峭边缘，擅长微纳级粗糙轮廓的检测。
②特点：成像图色彩斑斓，便于观察；结构简单，由轻量化的设备主机和电脑构成，便于携带和移动；操作便捷，采用全电动化设计，无缝衔接位移轴与扫描轴的切换；配备了真彩相机，提供还原的3D真彩图像，对细节的展现清晰。

综上所述，白光干涉仪和共聚焦显微镜在测量原理、应用及特点上各有千秋。选择哪种仪器取决于具体的测量需求和样品特性。

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